ued直播:

  合肥场景要点服务企业安徽凌光红外科技有限公司（以下简称凌光红外）正式对外发布LUXETVERITAS微光显微镜及激光诱导电阻改变（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜。

  这款国内首创的集成化电性失效剖析设备的正式发布，将为集成电路工业自主可控注人强动能。

  当时，全球半导体工业步入先进制程年代，芯片内部结构益发精细杂乱，电性失效剖析成为芯片研制迭代、良率提高与质量保证的中心环节。

  在此布景下，凌光红外深耕光学成像与精细查验测验范畴，坚持正向研制，继续攻关电性失效剖析中心技能，连续推出锁相红外显微镜、微光显微镜、激光诱导电阻改变显微镜等系列新产品，多项性能指标逾越世界同种类型的产品。此次推出的二合一集成设备，更是完成技能交融立异，添补国内市场空白。

  据介绍，LUXET VERITAS二合一显微镜深层次地交融EMMI微光检测与OBIRCH激光诱导电阻改变两大干流失效剖析功用，一机两用、高度集成，全方面掩盖半导体全链条检测需求。

  在中心硬件与性能参数上，设备搭载深度制冷近红外相机与大口径直研1.35倍物镜，EMMI模块可精准定位纳安级弱小漏电，高效辨认PN结击穿、闩锁效应、栅极氧化层漏电、多晶硅缺点等典型失效问题。

  OBIRCH模块选用1300nm规范激光波段、500mW额定功率，可完成pA级超高精度电流扩大丈量，精准排查金属线路、导通孔、触摸孔阻值反常等荫蔽缺点。

  自2025年落地合肥科大硅谷片区以来，凌光红外加快推动中心技能工业化，多款产品先后获评合肥市“三新”产品、安徽省首台套严重技能装备世界先进确定。

  依托工业链专场场景对接会，企业与合肥半导体工业链链主公司完成精准对接，并逐渐建立起安稳协作伙伴关系，为国产高端半导体检测设备在本地工业链中的使用推行奠定了坚实基础。